文章目录

0 引言

1 国外MEMS计量测试研究机构及技术现状

1.1 美国国家标准与技术研究院

1.2 欧洲国家计量机构协会

1.3 英国国家物理实验室

1.4 国际半导体技术发展路线图

1.5 国际电工技术委员会

1.6 半导体工艺和设备技术委员会

1.7 美国国家航空航天局

1.8 美国桑迪亚国家实验室

2 我国MEMS计量测试的参考借鉴

2.1 计量测试规划方面

2.2 计量测试技术方面

2.3 计量测试协同方面

3 结论

文章摘要:随着体积小、精度高、智能化的MEMS器件得到越来越多的应用，MEMS计量测试技术的研究越来越重要。为了进一步提高和完善我国MEMS计量测试技术，介绍了国外多个机构和组织的MEMS计量规划和技术现状，梳理了先进的MEMS计量测试技术研究工作，指明了在哪些方面需要借鉴国外先进的研究经验和成果。可以帮助国内研究者了解国内外MEMS计量测试技术研究现状，进而促进我国MEMS计量测试技术的发展。

文章关键词:

论文作者:李雷 张慧 沙长涛 张红 

作者单位:中国电子技术标准化研究院 

论文分类号:TB9;TN405