文章目录

1 引言

2 测试原理

3 测试系统总体设计

4 系统标定

4.1 正压力标定

4.2 摩擦力标定

4.3 标定结果

5 实验分析

6 总结

文章摘要:为解决微机电系统存在的微摩擦问题,提出了一种以光反射为基础的微摩擦测试技术。探讨了该测试方法的基本原理和实施步骤,设计研发了微机电系统的微摩擦测试样机,详细分析了该测试系统计量标定的完整过程,最终得到了该系统的计量测试数据及曲线。通过对Cu-Si、Al-Si表面进行微摩擦实验测试,得到了Cu-Si、Al-Si表面的μm量级微摩擦系数,有效验证了该测试系统能够满足微机电系统微摩擦测试的需要,同时,也为微机构运动特性的理解及设计提供了依据。

文章关键词:

论文分类号:TH-39